灯塔高压气流

HighPressureDIFFUSER设计用于光屋空降粒子计数器应用中样本受压标准应用包括CDA、Nitrogen和其他惰性气体采样

可用文版或插件版配置取余样本气排入测试区(虚拟模型)或测试区外耗竭(插件模型)。高压diffuser接受30至150psi(2至10.3巴)并存1.0或0.1CFM流出以满足应用需求

5件不锈钢设计由可替换FlorocoloneO-Rings制成,易拆卸和清洗或服务

• 1CFM支持0.11m
• 可用惰性气体
• 无线钢建设
• 易搭建
• 简单安装
• 快速清洗清理
• 无线钢建设

• 近温压力输出
• 小脚印
• 易系统集成

• 进程资质
• 半导体进程监控
• 平面板进程监控
• 进程趋势分析

用户手册

软件类